碳化硅陶瓷泵的烧结方法主要有：无压烧结，热压烧结，热等静压烧结，反应烧结。

　　无压烧结是一种常规的烧结方法，它是指在以高纯、超细碳化硅粉为原料，加入少量的烧结助剂，如硼、碳等，在大气压力下的惰性气体或真空气氛中，高温下烧结，这是***常用，也是***简单的一种烧结方式。

　　热压烧结是将碳化硅干粉料和相关添加元素如B,Al,Fe等放入模型内单轴方向边加压边加热，使碳化硅陶瓷泵成型和烧结同步进行。

　　热压烧结的特点：热压烧结由于加热加压同时进行，粉料处于热塑性状态，有助于颗粒的接触扩散、流动传质过程的进行，因而成型压力仅为冷压的1/10;还能降低烧结温度，缩短烧结时间，从而抵制晶粒长大，得到晶粒细小、致密度高和机械、电学性能良好的碳化硅陶瓷泵。无需添加烧结助剂或成型助剂，可生产超高纯度的陶瓷产品。热压烧结的缺点是过程及设备复杂，生产控制要求严，模具材料要求高，能源消耗大，生产效率较低，生产成本高。

　　热等静压烧结，也称高温等静压烧结，是使材料(粉末、素坯或烧结体)在加热过程中经受各向均衡压力，借助于高温和高压的共同作用促进材料致密化的工艺。该工艺是在1955年由美国Bfittelle Columbus实验室首先研制成功的，其***初主要应用于粉末冶金领域，随着设备所能达到的温度和压力的不断提高，又成功地应用到碳化硅陶瓷泵的高温烧结。

　　热等静压烧结技术的特点：可在较低烧结温度下制备出微观结构均匀、晶粒较细且完全致密的材料;可制备出形状复杂的产品，特别是在制备纳米材料时对粉体的要求不高，甚至团聚严重的粉体也可用于纳米陶瓷的制备。

　　反应烧结是将碳化硅细颗粒和助剂制成的素坯，在高温下与N2或液态硅反应，生成β-SiC，或者N4Si3,反应过程中气孔得到填充，从而得到高致密的陶瓷材料。但是反应烧结碳化硅陶瓷泵对HF酸和其他超强酸的抗腐蚀性较差。

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